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同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接头一样（yàng），因其超洁净、高精度、真空高压皆（jiē）无泄（xiè）漏及超长寿...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR系列接（jiē）头（tóu）一样（yàng），因其超洁（jié）净、高精（jīng）度、真空高压皆无泄漏及超长寿...
超纯低压气动隔膜阀 DLP
DLP系列超纯低压气（qì）动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体低压工况下的输送，产品（pǐn）在采用紧凑设计的同时（shí），实现高CV值。在高标准的洁净（jìng）室内生产，EP电解抛光处理内表面，粗糙度可达（dá）Ra≤5μin。每个产品都需（xū）要（yào）经（jīng）过氦质谱泄漏测试，从而保障应用安全性。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
阀座：PCTFE/PFA/PI
膜片：钴基超（chāo）级合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用温度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最高使用压力：250psi（17.2bar）
阀体内漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
|
规（guī）格 |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量（liàng）系数） |
0.27 |
0.27-0.7 |
0.7 |
1.7 |
内表面粗糙度
BA级：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
连接选择（zé）：VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头
气动操作选择：常（cháng）闭（NC）、常开（NO）
尺寸（cùn）仅供参考, 实物可能会变动（dòng）。
编码
两端接头
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
E(mm)
F(mm)
G(mm)
常闭（bì）NC
常开NO
DLPC04M
DLPO04M
1/4"VCR公头
57
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06M
DLPO06M
3/8"VCR公头
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08M
DLPO08M
1/2"VCR公头
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12M
DLPO12M
3/4"VCR公头
107
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04F
DLPO04F
1/4"VCR母头
70.6
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06F
DLPO06F
3/8"VCR母头
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08F
DLPO08F
1/2"VCR母头
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12F
DLPO12F
3/4"VCR母头（tóu）
179.2
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04T
DLPO04T
1/4"卡套接头
48
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06T
DLPO06T
3/8"卡套接头
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08T
DLPO08T
1/2"卡套接头
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12T
DLPO12T
3/4"卡套接头
126
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04W
DLPO04W
1/4"对焊
54
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06W
DLPO06W
3/8"对焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08W
DLPO08W
1/2"对焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12W
DLPO12W
3/4"对（duì）焊
156
23
148/143
85
46
48
35
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沪（hù）公网（wǎng）安备案31011702890523号