超纯低（dī）流量单级减压（yā）阀（fá） PRL

超纯低流量单级（jí）减压（yā）阀 PRL

PRL系（xì）列超纯低流量单级减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部（bù）EP电解抛（pāo）光处理，超低内表面粗糙度（dù）。适用于半（bàn）导体行业使用的高纯（chún）度气体，具有卓越的（de）重复性，稳定性及灵敏度。每台减压阀出厂前都（dōu）会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和（hé）颗（kē）粒物检测。

材料

阀（fá）体：SS316L、SS316L VAR

阀座：PCTFE/PI

膜片（piàn）、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

阀体内漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

内表面粗糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

安装方式：后座安装（zhuāng）、面板安装

最（zuì）大进口压力（lì）: 300psi（20.7Bar）

出口（kǒu）压力:100mm Hg - 10psi

验证压（yā）力：工作压力的150％

爆破压力：工作压力的300％

流量曲（qǔ）线：

端口配（pèi）置：

连接选择：VCR公头、VCR母头、对焊管接头