超纯（chún）高压气（qì）动隔膜阀 DHP

超（chāo）纯高压（yā）气动隔膜阀 DHP

DHP系列超纯高压气动隔膜阀适用于半导体行业高（gāo）纯气体（tǐ）高压工况下的输送，产品在采用紧凑设计的同时，实现高CV值。在高标准的洁净室内生产，EP电解抛光处理内表面，粗糙度（dù）可达Ra≤5μin。每个（gè）产品都需要经过氦质谱泄漏测试，从而（ér）保障应用安全性。

材料（liào）

阀体：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

阀（fá）座：PCTFE/PFA/PI

膜片（piàn）：钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -10~80°C

PFA/PI: -10~150°C

最（zuì）高使（shǐ）用压力：3500psi（240Bar）

阀体内（nèi）漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

内表面粗糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级（jí）：Ra≤5μin （0.13μm）

连（lián）接（jiē）选择：VCR公头、VCR母头、卡套接头（tóu）、对焊管接头

气动操作选择：常（cháng）闭（bì）（NC）