不(bú)锈钢高纯过滤器 FVSC
FVSC系列不锈钢高纯过滤(lǜ)器采用高温烧结滤芯,适用于高纯(chún)液体、气体过滤使用,最小过滤(lǜ)精度可达0.1μm。外形设计(jì)小巧(qiǎo),轻量,结构紧凑,可用于半导体行业空间要求极高的气路洁净处理。
材料
入口阀体:SS316L
出口阀体:SS316L
烧结滤芯:SS316L
垫片: SS316镀银
弹(dàn)簧:SS316
使用温度:-10~80℃
使用最高压力:3000Psi(207Bar)
阀体外漏率(lǜ):≤1.0x10-9 Pa・m3/sec He
阀体内表面粗糙度
BA级:Ra≤10μin(0.25μm)
EP级:Ra≤5μin (0.13μm)
烧结式过滤精度可选: 0.1, 0.5,2,7,15,40,60,90μm等(děng)
连接选择:VCR公头、卡套接头
编码 | 两端接头 | A(mm) | B(mm) |
FVSC04M | 1/4"VCR公头 | 81.8 | 19 |
FVSC08M | 1/2"VCR公(gōng)头 | 84.6 | 25.4 |
FVSC04T | 1/4"卡套接(jiē)头 | 76 | 19 |
FVSC08T | 1/2"卡套接头 | 86 | 25.4 |
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