超纯中低流量单级减压（yā）阀 PRLI

超纯中低流量单级减压阀 PRLI

PRLI系列超纯低流量单级减压阀采（cǎi）用单级膜（mó）片式硬密封设计，超低漏率，内（nèi）部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度。高压输入（rù）（最高可达3500Psi），低压标准流量输出，输出压力稳定，适（shì）用于（yú）半导（dǎo）体行业使（shǐ）用的高纯度气体。每台减压阀出（chū）厂前都会进行（háng）单独的压力测试、氦（hài）质谱泄漏测试和颗粒物检测（cè）。

材料

阀体：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22

阀座：PCTFE/PI

膜（mó）片、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -40~80°C

PI: -26~177℃

阀体内（nèi）漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

内表面粗（cū）糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

安装方式：后座（zuò）安装、面板安装

最大进口压力（lì）: 3500psi（241Bar）

出口压力（lì）: 1-150psi（详见选（xuǎn）型表）

验（yàn）证压力：工（gōng）作压力的150％

爆破压力：工作压力的300％

供压效应：标准:0.25%,  高流量HF:0.75%

流量曲线：

端口配（pèi）置：

连接选择：
VCR公头、VCR母头、对焊管接头

尺寸仅供参考, 实物可能会变动。
高流量（liàng）款，请在编号后+HF；多孔端口，请在编码后加孔数+PW