超纯低压手动隔膜（mó）阀 DLM

超纯低压手动隔膜（mó）阀 DLM

DLM系列超纯低压手动隔膜阀适用于半导体行业高纯气体（tǐ）低压工况下的输送，产品在采用紧凑设计的同时（shí），实（shí）现高CV值。在高标准的洁净室（shì）内生产，EP电解（jiě）抛光处理内表面，粗糙度可达Ra≤5μin。每个产品都需要经过氦质谱泄漏测（cè）试，从而保障应用安全性。

材料

阀体（tǐ）：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

阀座：PCTFE/PFA/PI

膜（mó）片：钴基超级合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用温度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

最高使（shǐ）用（yòng）压力：300psi（20.7Bar）

阀（fá）体（tǐ）内漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

内（nèi）表面（miàn）粗糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

连接（jiē）选择：VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊（hàn）管接头