超纯高压手动隔（gé）膜阀 DHM

超（chāo）纯高压手动（dòng）隔膜阀 DHM

DHM系列超纯高压手动隔膜阀适用于半导体行业高（gāo）纯气体高压工况下的输送，产品在（zài）采用（yòng）紧凑设计（jì）的同时，实现高CV值。在高标（biāo）准的洁净室内生产（chǎn），EP电（diàn）解抛光（guāng）处理内表面，粗糙度可达Ra≤5μin。每（měi）个产品都需要经过氦质谱泄漏测试，从而保障应用安全性。

材料

阀体：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

阀座：PCTFE/PFA/PI

膜片：钴（gǔ）基超级合金（jīn）、Hastelloy C-22、SS316L

使用（yòng）温度：PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

最高使用压（yā）力：3500psi（240Bar）

阀体内漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

内表面粗糙（cāo）度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

连接选择：VCR公头、VCR母头、卡套接头、对焊管接头

气（qì）动（dòng）操作选（xuǎn）择：常闭（bì）（NC）