超纯高（gāo）流量减压阀 PRH

超纯高流量减压（yā）阀 PRH

PRH系列超纯高流量减压阀采用单级膜（mó）片式硬密封设（shè）计，超低漏率，内部EP电解抛（pāo）光处理，超低内表面（miàn）粗糙度。高压输入（最高可达（dá）3500Psi），低压输出时满足高（gāo）流量（liàng）的要求。适用（yòng）于半导体（tǐ）行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单（dān）独的压力测试、氦（hài）质谱泄漏测试和颗粒物检测。

材料

阀体：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22

阀座：PCTFE/PI

膜片、提升阀芯（xīn）： Hastelloy C-22、SS316L

使用温度PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

阀体内漏（lòu）率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

内表面粗糙度

BA级：Ra≤10μin（0.25μm）

EP级：Ra≤5μin （0.13μm）

安装方式：后座安装、面板安装

最大（dà）进口压力（lì）: 标准及高流量款（kuǎn）HF 1700psi (117bar)、应力补偿款FC 300psig (21bar)、 高压（yā）款HR 3500psi（241Bar）

出口压力: 1-150psi（详见选型表）

验证（zhèng）压力：工作压力的150％

爆破（pò）压力：工作压力（lì）的300％

供压效应：标（biāo）准款3.5%,、高流（liú）量款HF和应力补偿（cháng）款FC:4.2%

流量（liàng）曲线：

端口配置：

连接选择：VCR公（gōng）头、VCR母头、对焊管（guǎn）接头